环氧树脂类双偶氮苯聚合物BP-2A-35-CN表面起伏光栅刻写研究

作     者：王向贤 王小东 杨华 叶松 余建立 WANG Xiangxian;WANG Xiaodong;YANG Hua;YE Song;YU Jianli

作者机构：兰州理工大学理学院兰州730050 巢湖学院化学化工与生命科学学院安徽巢湖238000 巢湖学院电子工程与电气自动化学院安徽巢湖238000 

出 版 物：《功能材料》 (Journal of Functional Materials)

年 卷 期：2015年第46卷第20期

页      面：20132-20135页

学科分类：080801[工学-电机与电器] 0808[工学-电气工程] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(61505074 51262018) 兰州理工大学红柳青年教师培养计划资助项目(Q201509) 安徽省高等学校省级自然科学研究资助项目(KJ2013B163) 

主　　题：偶氮苯聚合物 表面起伏光栅 光刻 

摘      要：合成了具有良好光致质量迁移效应和宽光谱响应范围的环氧树脂类双偶氮苯聚合物BP-2A-35-CN,测量了聚合物薄膜的紫外-可见吸收光谱。用532nm激光双光束干涉刻写了一维偶氮苯聚合物表面起伏光栅。提出了将样品旋转90°刻写二维偶氮苯聚合物表面起伏光栅的方法,并成功刻写了二维表面起伏光栅。用BP-2A-35-CN偶氮苯聚合薄膜做光刻介质,用双光束干涉结合样品旋转方法,可实现基于可见光波段的激光干涉刻写表面起伏光栅的工艺简单的低成本光刻技术。