版权所有：内蒙古大学图书馆 技术提供：维普资讯• 智图
内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区大学西街235号 邮编: 010021
弯曲悬臂梁静电执行器驱动特性的实验研究
Research of actuation characteristic of a curved cantilever electrostatic actuator作者机构：清华大学精密仪器系微机械教研室北京100084
出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)
年 卷 期：2003年第40卷第7期
页 面：375-377页
学科分类：080805[工学-电工理论与新技术] 0808[工学-电气工程] 080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0802[工学-机械工程] 0811[工学-控制科学与工程]
基 金：8 63计划 (2 0 0 1AA3 12 2 5 0 )资助项目
主 题：弯曲悬臂梁 静电执行器 驱动特性 粘连 吸下电压 MEMS执行器
摘 要：研究了一种弯曲悬臂梁静电执行器。该悬臂梁一端固支 ,另一端自由翘离基底。在静电力作用下 ,悬臂梁粘连的位置和长度会改变 ,使得执行器的电压 位移特性严重依赖加载历史。研究了在不同电压加载方式下 ,悬臂梁粘连点、端部位移的变化 ,以及这种变化对驱动电压的影响。实验研究了悬臂梁在方波电压下的振动 。
