高性能LTCC高温压力传感器的制备

作     者：纪夏夏 罗涛 谭秋林 刘文怡 熊继军 JI Xia-xia;LUO Tao;TAN Qiu-lin;LIU Wen-yi;XIONG Ji-jun

作者机构：中北大学电子测试技术重点实验室山西太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2015年第34卷第4期

页      面：59-61,65页

学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程] 

基　　金：高等学校优秀青年学术带头人支持计划项目 国家自然科学基金面上资助项目(61471324) 

主　　题：低温共烧陶瓷 高温压力传感器 无线无源 排气孔 烧结曲线 

摘      要：研究了通过烧结曲线优化来实现无排气孔结构的高性能低温共烧陶瓷(LTCC)无源高温压力传感器的制备。通过对比实验,成功摸索出了无排气孔结构的传感器烧结温度曲线。相比于传统LTCC压力传感器,该无排气孔结构的传感器由于无需玻璃浆料封口,避免了由于两种材料高温下热膨胀系数不匹配导致的传感器密封失效问题,确保了传感器在高温下工作的可靠性。测试结果表明:在2.0 bar,400℃以内,所制备的LTCC高温压力传感器具有极好的灵敏度和线性度,最大平均灵敏度为1.96 MHz/bar,最大非线性误差为4.52%,优于之前国内外研究水平。