挥发型液体标准漏孔漏率测试及其不确定度评定

作     者：师立侠 崔寓淏 王凯 刘胜 刘兴悦 Shi Lixia;Cui Yuhao;Wang Kai;Liu Sheng;Liu Xingyue

作者机构：北京卫星环境工程研究所 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2019年第39卷第4期

页      面：293-296页

学科分类：08[工学] 0804[工学-仪器科学与技术] 

主　　题：挥发 标准漏孔 泄漏率 校准 

摘      要：全氟三乙胺液态工质在航天器密封管路中的应用日益广泛,因此,对其泄漏率测试的需求不断提升。为了实现全氟三乙胺的泄漏率测试,需要研制漏率已知的液体标准漏孔作为对比装置来进行泄漏率的定量测试。基于此,本文提出一种基于液体挥发速率同挥发面积关系原理设计的挥发型液体标准漏孔,挥发性液体通过一个固定尺寸的小孔不断向周围环境进行泄漏。挥发型液体标准漏孔设计质量轻,通过高精度电子天平测量其一定时间(一般为24h)的质量损耗,可以精确得出该液体漏孔的泄漏率。本文通过对挥发型标准漏孔校准测试过程中的不确定度进行评价得出,其相对扩展不确定度为2.8%,故该标准漏孔可以作为工程上进行全氟三乙胺液体工质质谱检漏过程中的对比装置。