调制周期对Cr/CrN多层膜结构及性能的影响

作     者：黄儒明 代明江 林松盛 刘洪喜 HUANG Ruming;DAI Mingjiang;LIN Songsheng;LIU Hongxi

作者机构：昆明理工大学材料科学与工程学院云南昆明650093 广东省新材料研究所现代材料表面工程技术国家工程实验室广东省现代表面工程技术重点实验室广东广州510650 

出 版 物：《热加工工艺》 (Hot Working Technology)

年 卷 期：2019年第48卷第10期

页      面：136-139页

学科分类：080503[工学-材料加工工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：广东省科技计划项目(2014B050503005,2014B070706026) 中山市广东省科学院技术转移项目(2016GIFC0006) 

主　　题：电弧离子镀 调制周期 Cr/CrN多层膜 

摘      要：采用电弧离子镀技术在6Cr13Mo低碳马氏体不锈钢基材表面沉积不同调制周期的Cr/CrN多层膜。利用扫描电镜、显微硬度仪、划痕仪、压痕仪、摩擦磨损试验机、3D轮廓仪研究Cr/CrN多层膜的结构和性能。结果表明:调制周期的变化对Cr/CrN多层膜硬度影响较小;随着调制周期的减小,Cr/CrN多层膜致密性逐渐提高;不同调制周期下,Cr/CrN多层膜与基体结合力均在100 N以上,其中调制周期为321 nm的Cr/CrN多层膜的韧性及与基体结合性能最优;调制周期为569 nm的Cr/CrN多层膜的磨损率最低。