基于MEMS工艺的异性材料定向天线(英文)

作     者：黄闯 陈迪 陈翔 刘景全 靖向萌 朱军 魏文婕 魏泽勇 李宏强 HUANG Chuang;CHEN Di;CHEN Xiang;LIU Jing-quan;JING Xiang-meng;ZHU Jun;WEI Wen-jie;WEI Ze-yong;LI Hong-qiang

作者机构：上海交通大学微米纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030 同济大学物理系上海200092 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2008年第21卷第3期

页      面：533-535页

核心收录：

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 

基　　金：上海市科委重点基础研究项目资助(05JC14061) 微米/纳米加工技术国家级重点实验室基金资助(9140C7903060706) 

主　　题：天线 MEMS 谐振腔 异性材料 

摘      要：制备了一种基于MEMS工艺的定向天线。以异性材料为基底的亚波长谐振腔结构有效降低了天线体积。这种天线可以用于要求高能量密度的微系统的能量传送。本文中的天线厚度为1.5mm,可工作于10GHz频段。这使得其易于与微系统集成。文中也给出了仿真及实验的结果,并介绍了天线的加工过程。