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硅压阻压力传感器优化设计
作者机构：陕西电器研究所
出 版 物：《物联网技术》 (Internet of things technologies)
年 卷 期：2019年第9卷第8期
页 面：24-25,27页
学科分类：081203[工学-计算机应用技术] 08[工学] 0835[工学-软件工程] 0812[工学-计算机科学与技术（可授工学、理学学位）]
主 题：硅压阻压力传感器 敏感芯体 信号跳变 硅油 空化 振动
摘 要：采用硅压阻敏感芯体制作的传感器具有较高的精度和较好的长期稳定性,被广泛运用于压力传感器中。但普通的硅压阻敏感芯体在测量发动机仪器舱内气体压力和头罩部位气体压力时,出现了信号跳变的异常现象。通过对硅压阻敏感芯体工作原理进行分析,以及对敏感芯体充油工艺的分析,发现普通敏感芯体信号跳变是由于芯体在振动和低气压复合环境下内部硅油出现了空化现象。可选择采用高真空的硅压阻敏感芯体来杜绝芯体内部硅油空化现象的发生,试验证明,该方法可有效解决信号跳变这一问题。
