环形静电排斥旋转驱动器微光机电系统微镜

作     者：马文英 魏耀华 汪为民 王强 Ma Wenying;Wei Yaohua;Wang Weimin;Wang Qiang

作者机构：成都信息工程大学通信工程学院成都610225 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室成都610209 

出 版 物：《强激光与粒子束》 (High Power Laser and Particle Beams)

年 卷 期：2016年第28卷第6期

页      面：29-33页

核心收录：

学科分类：08[工学] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：国家自然科学基金项目(11403029) 中国科学院青年创新促进会资助项目(2014346) 四川省科技创新苗子工程资助项目(2015064) 成都信息工程大学科研基金项目(J201505) 

主　　题：微光机电系统 微镜 表面工艺 静电排斥 环形驱动器 旋转角 

摘      要：微光机电系统(MOEMS)微镜在激光显示、光束扫描、自适应光学等领域都有重要应用。现有的MOEMS微镜驱动器一般为静电吸引型,难以克服其吸合效应造成的各种问题,同时,方形的驱动器难以与圆形的镜面形成良好匹配,填充比较低。提出了一种环形静电排斥驱动器的MOEMS微镜,该静电排斥驱动器以环形排列,并围绕在镜面的周围,达到了与圆形镜面的良好匹配。所设计的微镜口径为204μm,并利用PolyMUMPS表面工艺进行加工。模拟仿真及实验测试结果显示,该微镜具有0.62°的最大旋转角,494μs的响应时间和1.191kHz的工作带宽,适用于一般光束扫描等的应用需求。