多孔硅反射镜基有机微腔器件的微结构和光电特性研究

作     者：熊祖洪 樊永良 詹义强 张松涛 丁训民 侯晓远 

作者机构：西南师范大学物理学院重庆400715 复旦大学应用表面物理国家重点实验室上海200433 

出 版 物：《中国科学（E辑）》 (Science in China(Series E))

年 卷 期：2005年第35卷第3期

页      面：278-289页

核心收录：

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 

基　　金：国家重点基础研究特别基金(批准号: 2001CB610408) 重庆市科委(批准号: 2003-7934)资助项目 

主　　题：多孔硅 电化学腐蚀 硅基微腔 电致发光 有机光发射二极管 

摘      要：从微结构和光电特性方面研究了一种新型硅基微腔的有机发光器件(SBM-OLEDs): 硅基多孔硅分布 Bragg 反射镜(PS-DBR)/SiO2/ITO/有机多层膜/LiF/Al(1 nm)/Ag. 微腔器件的重要组成部分 PS-DBR 由低成本、高效率的电化学腐蚀方法制备. 场发射扫描电子显微图清晰显示: SBM-OLEDs 具有纳米级层次结构和平整的界面. PS-DBR 反射谱的阻止带宽 160 nm, 且反射率达 99%.SBM-OLEDs 的反射谱中出现了标志此结构为微腔的共振腔膜. 在绿光和红光波段, 从 SBM-OLEDs 中都得到了改进的电致发光(EL)谱: 绿光(红光)EL 谱的半高宽可由无微腔的 83 nm (70 nm)窄化为有微腔时的 8 nm (12 nm), 且为单峰发射,微腔器件 EL 谱的色纯性有较大提高. 与非微腔器件相比, 发绿光和发红光的微腔在谐振波长处 EL的强度分别增强了 6倍和 4倍. 对微腔器件的电流-亮度-电压(I-B-V)特性和影响器件寿命的因素也进行了讨论.