版权所有：内蒙古大学图书馆 技术提供：维普资讯• 智图
内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区大学西街235号 邮编: 010021
高Q平面环形微腔的制备以及测试
Fabrication of High-Q Optical Microcavity and Test作者机构：中北大学电子测试技术国防重点实验室 仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051
出 版 物：《纳米科技》
年 卷 期：2011年第8卷第3期
页 面：5-8,18页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学]
基 金：基金项目:973国家重点基础研究发展计划项目(No.2009CB326206) 重点实验室基金项目(No.9140C1204040909) 国家自然科学基金项目(No.60707014&No.60778029).山西省自然科学基金项目(No.2009011059-16) 总装创新项目(No.7130907)
摘 要：采用MEMS工艺制备平面微盘腔，再通过二氧化碳激光熔融其表面形成为环状结构，通过三维形貌微系统分析仪、原子力显微镜分别测试了其外部尺寸和表面粗糙度，实验结果表明，锥形光纤近场耦合测得微腔品质因素为4．8×10^5，耦合效率在95％以上，因此激光回流微的方式在得到了新的结构的同时保证了光腔的性能。
