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内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区大学西街235号 邮编: 010021
作者机构:南京信息工程大学电子与信息工程学院南京210044 江苏省气象探测与信息处理重点实验室南京210044
出 版 物:《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)
年 卷 期:2011年第24卷第11期
页 面:1556-1560页
核心收录:
学科分类:080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程]
基 金:中国工程物理研究院科学技术发展基金项目(2009B0403044) 公益性行业(气象)科研专项(GYHY200906037) 国家自然科学基金项目(41075026)
摘 要:根据静电加载在平板电容器上产生等效静电负刚度原理,分析了基于静电刚度的谐振式微加速度计的敏感过程。针对有效信号检测中存在的同频干扰问题,建立了接口电路的等效模型,并根据干扰源提出在信号处理电路采用方波调制、开关解调的抑制方法。仿真和实验表明制造的加速度计检测端静态电容约为0.4pF,实验条件下变化的检测电容为3.1fF,干扰耦合电容约为0.04pF。频率调制解调方法实现了加速度计振动信号的拾取,在真空封装下品质因数约为1400,谐振频率为35.476 kHz。