4通道交叉型二氧化硅光波导延迟线阵列的设计与制备

作     者：李浩 宋玲玲 张立钧 王焕然 李亮 王菲 衣云骥 张大明 LI Hao;SONG Ling-ling;ZHANG Li-jun;WANG Huan-ran;LI Liang;WANG Fei;YI Yun-ji;ZHANG Da-ming

作者机构：吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区吉林长春130012 吉林省光通信用聚合物波导器件工程实验室吉林长春130012 中国电子科技集团公司第四十七研究所辽宁沈阳110032 

出 版 物：《中国光学》 (Chinese Optics)

年 卷 期：2014年第7卷第3期

页      面：435-441页

学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(No.61177027 No.61077041 No.61261130586) 吉林省科技发展计划资助项目(No.20110315) 吉林省青年科研基金资助项目(No.20100174) 吉林大学科研启动基金资助项目(No.450060491403) 吉林大学创新训练资助项目(No.2013C51103) 

主　　题：光波导延迟线 二氧化硅 Y分束器 

摘      要：设计并制备了一种高集成度、低成本、低损耗4通道交叉型二氧化硅光波导延迟线阵列。利用BPM软件对交叉结构光波导延迟线的Y分支的损耗、弯曲损耗进行数值模拟。综合考虑器件尺寸和损耗参数,设计交叉型延迟线结构的弯曲半径最小为1 500μm,引入优化的锥口Y分支结构和垂直相交波导结构。采用标准半导体制作工艺制备器件,测试得到了器件的红外输出光斑,延迟线延迟时间分别为0、113、226和339 ps。4通道二氧化硅延迟线阵列能实现相邻通道相等的延迟时间间隔,且可通过集成实现延迟时间的增加,同时输出端可以与光纤阵列集成。