声表面波质量传感器的P矩阵模型与实验分析

作     者：杨莺 朱大中 YANG Ying;ZHU Da-zhong

作者机构：浙江大学信息与电子工程学系浙江杭州310027 

出 版 物：《浙江大学学报（工学版）》 (Journal of Zhejiang University：Engineering Science)

年 卷 期：2007年第41卷第6期

页      面：881-885页

核心收录：

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60176027) 

主　　题：Q值 声表面波传感器 变迹加权 P矩阵 反射栅 

摘      要：分析了新结构Y型双声路声表面波(SAW)质量传感器的频域特性.应用P矩阵理论计算结合实验验证,比较了3种不同结构器件的性能.结果表明,换能器孔径加权设计相比均匀孔径设计,有利于减小三、五次回波,旁瓣抑制增加了15 dB,在振荡模式下等效Q值由4 800提高到8 689,短期频率稳定度提高了-1.81 dBc/Hz;倾斜反射栅设计使边缘反射虚假信号减小了约2 dB,在振荡模式下等效Q值由8 689提高到12 477,短期频率稳定度提高了-1.20 dBc/Hz.采用倾斜反射栅与孔径加权设计结构,有利于提高质量传感器在振荡模式下的等效Q值,并提高短期频率稳定度.