靶丸内表面轮廓的白光共焦光谱测量技术

作     者：唐兴 王琦 马小军 高党忠 王宗伟 孟婕 TANG Xing;WANG Qi;MA Xiao-jun;GAO Dang-zhong;WANG Zong-wei;MENG Jie

作者机构：中国工程物理研究院激光聚变研究中心四川绵阳621900 

出 版 物：《中国光学》 (Chinese Optics)

年 卷 期：2020年第13卷第2期

页      面：266-272页

核心收录：

学科分类：07[理学] 070302[理学-分析化学] 0703[理学-化学] 

基　　金：科学挑战计划(No.TZ2018006-0204-01) 

主　　题：白光共焦光谱 内表面轮廓 靶丸 激光聚变 

摘      要：靶丸内表面轮廓是激光核聚变靶丸的关键参数,需要精密检测。本文首先分析了基于白光共焦光谱和精密气浮轴系的靶丸内表面轮廓测量基本原理,建立了靶丸内表面轮廓的白光共焦光谱测量方法。此外,搭建了靶丸内表面轮廓测量实验装置,建立了基于靶丸光学图像的辅助调心方法,实现了靶丸内表面轮廓的精密测量,获得了准确的靶丸内表面轮廓曲线;最后,对测量结果的可靠性进行了实验验证和不确定度分析,结果表明,白光共焦光谱能实现靶丸内表面低阶轮廓的精密测量,其测量不确定度优于0.1μm。