真空紫外-极紫外反射率计控制与数据采集系统

作     者：谢春 姚倩霞 余越 李文斌 XIE Chun;YAO Qianxia;YU Yue;LI Wenbin

作者机构：同济大学中德工程学院上海201804 同济大学机械与能源工程学院上海201804 同济大学先进微结构材料教育部重点实验室上海200092 同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所上海200092 

出 版 物：《光学仪器》 (Optical Instruments)

年 卷 期：2020年第42卷第3期

页      面：71-80页

学科分类：12[管理学] 1201[管理学-管理科学与工程(可授管理学、工学学位)] 08[工学] 

基　　金：国家自然科学基金创新研究群体基金(61621001) 国家自然科学基金面上项目(11875203) 

主　　题：反射率计 LabVIEW 锁相放大器 数据采集 

摘      要：针对自行研制的真空紫外-极紫外(VUV–EUV)波段反射率计运行需要,基于LabVIEW软件构建了该反射率计控制和数据采集系统。详细介绍该系统的组成和主要硬件单元模块的控制流程与方法,并给出准直调试程序和反射率数据采集程序的架构、用户界面和数据采集方法。提出的新数据采集算法有效提高了弱信号条件下反射率测量的可靠性。利用该控制与数据采集系统,对Si基板开展了准直校准与反射率测量实验。结果表明,在7.5°~87.5°范围内直通光电流信号为20 pA时仍能获得可靠的反射率,且基于入射光监测方法的反射率测量实验结果与理论计算相符更好。除在布儒斯特角附近信号电流小于本底电流0.7 pA时,反射率重复测量误差优于1.6%。