碳化硅单晶抛光片规范

标准编号：SJ/T 11502-2015

提出单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所;北京天科合达蓝光半导体有限公司;工业和信息化部电子工业标准化研究院;河北同光晶体有限公司

起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所;北京天科合达蓝光半导体有限公司;工业和信息化部电子工业标准化研究院;河北同光晶体有限公司

发布单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所;北京天科合达蓝光半导体有限公司;工业和信息化部电子工业标准化研究院;河北同光晶体有限公司

发布日期：2015年

实施日期：10000000

页      码：17P.;A4页

中国标准分类号：H83

国际标准分类号：29_045

摘      要：本规范规定了碳化硅单晶抛光片的术语和定义、牌号、要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、贮存和运输等内容。 本规范适用于晶型为6H和4H，单面或双面抛光，直径100 mm及以下的碳化硅单晶抛光片。其它晶型或尺寸的碳化硅单晶抛光片可参照使用。