电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法

标准编号：GB/T 11446.7-2013

提出单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心;中国科学院半导体研究所;中国电子技术标准化研究院;中国电子科技集团公司第四十六研究所

起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心;中国科学院半导体研究所;中国电子技术标准化研究院;中国电子科技集团公司第四十六研究所

发布单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心;中国科学院半导体研究所;中国电子技术标准化研究院;中国电子科技集团公司第四十六研究所

发布日期：2013年

实施日期：20140815

页      码：8P.;A4(仅供参考)页

主      题：水 含量测定 电子 有机基化合物 离子 阴离子 WATER CONTENT DETERMINATION CONTENT DETERMINATIONS DETERMINATION OF CONTENT ELECTRONS ORGANIC RADICALS IONS ANIONS 

中国标准分类号：L90

国际标准分类号：31-030

摘      要：GB/T 11446的本部分规定了电子级水中痕量氟离子(F )、氯离子(Cl )、亚硝酸根离子(NO )、溴离子(Br )、硝酸根离子(NO )、磷酸根离子(PO )、硫酸根离子(SO )的离子色谱测试方法。本部分适用于电子级水中痕量氟离子、氯离子、亚硝酸根离子、溴离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的测定,其中检出限依次为 0.7 μg/L、0.8μg/ L、1 μg/L、1 μg/L、1 μg/L、1 μg/L 和 1 μg/L。