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碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法
Test method for measuring surface quality of polished monocrystalline silicon carbide标准编号：SJ/T 11504-2015
提出单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所;工业和信息化部电子工业标准化研究院
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所;工业和信息化部电子工业标准化研究院
发布单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所;工业和信息化部电子工业标准化研究院
发布日期：2015年
实施日期：10000000
页 码：6P.;A4页
中国标准分类号：H83
国际标准分类号：29_045
摘 要：本标准规定了碳化硅单晶抛光片（以下简称“抛光片）表面质量的目视检验方法。 本标准适用于单面或者双面抛光的碳化硅单晶抛光片表面质量的检测。
