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电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法
Test method for SiO2 in electronic grade water by spectrophotometer标准编号：GB/T 11446.6-2013
提出单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心;中国科学院半导体研究所;中国电子技术标准化研究院;中国电子科技集团公司第四十六研究所
起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心;中国科学院半导体研究所;中国电子技术标准化研究院;中国电子科技集团公司第四十六研究所
发布单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心;中国科学院半导体研究所;中国电子技术标准化研究院;中国电子科技集团公司第四十六研究所
发布日期：2013年
实施日期：20140815
页 码：8P.;A4(仅供参考)页
主 题：分光光度法 电子设备与元件 二氧化硅 含量测定 水 氧化物 硅 SPECTROPHOTOMETRY SILICON OXIDE SILICON DIOXIDE CONTENT DETERMINATION CONTENT DETERMINATIONS DETERMINATION OF CONTENT WATER EMOXIDATIVE OXIDES SILICON SILICONE
中国标准分类号：L90
国际标准分类号：31-030
摘 要：GB/T 11446的本部分规定了电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法。本部分适用于电子级水中二氧化硅的测定,其中检出限为1 μg/L。
