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电子级水中微粒的仪器测试方法
Test method for particles in electronic grade water by instrument标准编号：GB/T 11446.9-2013
提出单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心;中国科学院半导体研究所;中国电子技术标准化研究院;中国电子科技集团公司第四十六研究所
起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心;中国科学院半导体研究所;中国电子技术标准化研究院;中国电子科技集团公司第四十六研究所
发布单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心;中国科学院半导体研究所;中国电子技术标准化研究院;中国电子科技集团公司第四十六研究所
发布日期：2013年
实施日期：20140815
页 码：7P.;A4(仅供参考)页
主 题：水 电子设备及元件 含量测定 粒状材料 WATER ELECTRONIC EQUIPMENT AND COMPONENTS CONTENT DETERMINATION CONTENT DETERMINATIONS DETERMINATION OF CONTENT PARTICULATE MATERIALS
中国标准分类号：L90
国际标准分类号：31-030
摘 要：GB/T 11446的本部分规定了电子级水中微粒的仪器测定方法。本部分适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数,测定的微粒粒径不小于0.05 μm,微粒的浓度范围为0~10 000个/mL。
