基于同步共振的高分辨率差压式流量传感器

专利申请号：CN201721644010.4

公 开 号：CN207439475U

发 明 人：王东方 孙超超 杜旭 田利峰 郑果文 夏操 万胜来 冯昊楠 滕浩 安临君 杨旭 刘欣 殷志富 王昕 

代 理 人：魏征骥

代理机构：22100 吉林长春新纪元专利代理有限责任公司

专利类型：实用新型

申 请 日：20180601

公 开 日：20171129

专利主分类号：G01F1/34(20060101)

关 键 词：内流道 共振 检测梁 差压式流量传感器 本实用新型 基底上表面 支撑 悬臂梁 压缩腔 压电 底座 高分辨率测量 差动式结构 悬臂梁结构 高分辨率 节流装置 流体压差 密闭气体 密封连接 分隔膜 激振片 敏感腔 水压 流体 流道 振片 密封 转化 

摘      要：本实用新型提供一种基于同步共振的高分辨率差压式流量传感器，属于差压式流量传感器。底座内流道一端与引压流道密封相连，另一端与支撑部压缩腔密封连接，分隔膜处于底座与支撑部中间，支撑部与两对同步共振悬臂梁连接，支撑部内流道一端与压缩腔相连，另一端与检测梁内流道连接，且检测梁内流道与敏感腔相连，检测梁基底上表面设置有压电激振片，拾振梁基底上表面设置有压电拾振片，两对同步共振悬臂梁组成差动式结构。本实用新型结构新颖，与节流装置配合使用，将水压的变化转化成密闭气体密度的变化，利用同步共振悬臂梁结构实现对流体压差的高分辨率测量，从而求得被测流体的流量。