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一种基于直线电机的双载具运动平台
专利申请号：CN201020148202.8
公 开 号：CN201918376U
发 明 人：王敕
专利类型：实用新型
申 请 日：20110803
公 开 日：20100325
专利主分类号：H01L21/68(20060101)
关 键 词：直线电机 载具 定位精度 长行程 设备利用率 滚珠丝杠传动 直线电机驱动 解码器 半导体封装 传统方案 反向间隙 工业领域 线性光栅 信号反馈 运动平台 直接驱动 不停机 电机 干净
摘 要：本实用新型涉及一种基于直线电机的双载具运动平台，能够在不停机的情况下对载具平台上的载具进行更换，提高了生产效率，尤其适合于像半导体封装这样要求高设备利用率的工业领域。其包含有一个长行程X轴直线电机和两个短行程Y轴直线电机。本实用新型采用直线电机直接驱动X轴和Y轴运动，没有传统滚珠丝杠传动中存在的反向间隙和摩擦力，重复定位精度高，使用寿命长且运行干净；采用线性光栅尺及解码器为X轴和Y轴直线运动提供信号反馈，保证定位精度；采用一个长行程X轴直线电机驱动两个短行程Y轴直线电机的模式，比传统方案少用一个电机，系统简单，可靠性高。
