通过纳米电极阵列记录细胞内电信号的装置

专利申请号：CN201710570314.9

公 开 号：CN107462511A

发 明 人：谢曦 杭天 陈惠琄 潘烁琳 柳成林 高健 杨成端 何根 吴江明 

代 理 人：曹爱红

代理机构：44100 广州新诺专利商标事务所有限公司

专利类型：发明申请

申 请 日：20171212

公 开 日：20170713

专利主分类号：G01N15/10(20060101)

关 键 词：纳米电极阵列 硅材料 衬底 细胞 记录 纳米电极 测量电子元件 反应离子蚀刻 神经细胞 电信号记录 电极阵列 位置通过 细胞外电 心肌细胞 电连接 非纳米 绝缘性 竖立的 氧化硅 光刻 刺激 覆盖 

摘      要：本发明属于记录细胞内电信号的技术领域，具体公开一种通过纳米电极阵列记录细胞内电信号的装置，包括硅材料衬底和置于硅材料衬底上的纳米电极阵列，硅材料衬底上纳米电极阵列的位置使用光刻和反应离子蚀刻进行定义，硅材料衬底上非纳米电极阵列的位置通过绝缘性氧化硅进行覆盖，所述纳米电极阵列为若干竖立的纳米电极，所述纳米电极阵列与用于刺激/测量电子元件之间电连接。该装置能简单方便的在同一个时间内对多个细胞进行电信号记录，此外，其可以根据实际需要记录细胞外电信号和细胞内电信号，而且除了记录神经细胞的电信号之外，还可以用于记录心肌细胞或其他类型的细胞的电信号。