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具有优化的照明几何结构的结构照明

具有优化的照明几何结构的结构照明

专利申请号:CN201880019069.5

公 开 号:CN110462484A

发 明 人:本尼迪克·迪德里希 罗尔夫·沃特曼 哈拉尔德·夏德温克尔 拉尔斯·施托佩 

代 理 人:杨生平;赵星

代理机构:11758 北京睿阳联合知识产权代理有限公司

专利类型:发明申请

申 请 日:20191115

公 开 日:20180302

专利主分类号:G02B21/08(20060101)

关 键 词:对象传递函数 光学传递函数 参考测量 光学单元 样本对象 照明几何 优化 

摘      要:根据参考测量,确定样本对象的对象传递函数(201)。然后,根据所述对象传递函数和光学单元的光学传递函数(202)进行优化(250),获得优化的照明几何结构。

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