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一种干涉仪误差校准装置及校准方法
专利申请号：CN201510176870.9
公 开 号：CN106154762B
发 明 人：徐伟
代 理 人：屈蘅
代理机构：31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
专利类型：授权发明
申 请 日：20190823
公 开 日：20150415
专利主分类号：G03F7/20(20060101)
关 键 词：光电传感器 干涉仪误差 位置误差 平面的 校准 光电信号转换 位置信息计算 处理电路 平面垂直 校准装置 干涉 探测
摘 要：本发明公开一种干涉仪误差校准装置，用于校准干涉仪的位置误差，包括：一X向光电传感器，一Y向光电传感器，该X向光电传感器包括至少一个位于一平面的光电传感器，该Y向传感器包括至少一个另一平面的光电传感器，该X向传感器所在的平面与该Y向传感器所在的平面垂直；一光电传感器处理电路，用于将该X向光电传感器和该Y向光电传感器探测到的光电信号转换为位置信息，根据该位置信息计算该干涉仪的位置误差。本发明同时公开一种干涉仪误差校准方法。
