一种非接触式非连续平面平面度测量系统

专利申请号：CN201510855857.6

公 开 号：CN106813600B

发 明 人：赵慧洁 李旭东 范博 

专利类型：授权发明

申 请 日：20200103

公 开 日：20151130

专利主分类号：G01B11/30(20060101)

关 键 词：非连续平面 激光位移传感器 平面度测量系统 位置敏感器 非接触式 加工设备 测量 待测点 平面度 非接触式在线测量 激光发射装置 非连续表面 计算机控制 计算机组成 平面度测量 测量过程 测量系统 测量装置 平面坐标 自动测量 自动完成 组合测量 数据处理 非接触 可用 加工 

摘      要：一种非接触式非连续平面平面度测量系统。测量系统包括激光发射装置、激光位移传感器、位置敏感器和计算机组成。该测量装置可在加工现场，与加工设备结合，对各种大尺寸、非连续平面的平面度进行高精度非接触式在线测量。一种非接触式非连续平面平面度测量系统。使用激光位移传感器和位置敏感器组合测量待测点高度(z)，结合加工设备测量待测点平面坐标(x，y)，然后进行数据处理得到平面度值。本发明具有非接触、测量范围大、能适应各种材质的表面等特点，可用于各种不同大小、不同材质的非连续表面的平面度测量；测量过程由计算机控制自动完成，可实现自动测量，提高了测量速度。