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一种三层键合的电容式微加速度计结构电极引出方法
专利申请号：CN201911360780.X
公 开 号：CN111044757A
发 明 人：刘国文 刘宇 李兆涵 刘福民 杨静 高乃坤 梁德春
代 理 人：任林冲
代理机构：11009 中国航天科技专利中心
专利类型：发明申请
申 请 日：20200421
公 开 日：20191225
专利主分类号：G01P15/125(20060101)
关 键 词：极板 键合 三明治 电容式微加速度计 电极焊盘 划片工艺 加速度计 结构电极 器件失效 进入腔 晶圆级 上玻璃 下玻璃 圆片级 质量块 三层 圆片 体内 加工 生产
摘 要：本发明公开了一种三层键合的电容式微加速度计结构电极引出方法，(1)生成上玻璃极板；(2)生成下玻璃极板；(3)生成中间硅‑质量块极板；(4)生成三明治加速度计圆片；(5)生成电极焊盘。使用所述方法避免了划片工艺中水进入腔体内引起器件失效的问题，可进行晶圆级加工和实现圆片级键合，适合大批量生产。
