流率测量单元和流率控制单元

专利申请号：CN201611082483.X

公 开 号：CN106979807B

发 明 人：S.比尔吉 A.邓策尔 C.贝赫勒 

代 理 人：周春梅;安文森

代理机构：72001 中国专利代理(香港)有限公司

专利类型：授权发明

申 请 日：20200616

公 开 日：20161130

专利主分类号：G01F5/00(20060101)

关 键 词：插入板 测量通道 流率测量 旁路通道 流通路 扩宽 腔室 流率控制单元 传感器系统 插入部件 壳体部件 纵向凹陷 层叠体 延伸 分叉 基板 壳体 

摘      要：本发明公开了流率测量单元和流率控制单元。一种流率测量单元（1），包括壳体（2），其由可以连接至彼此的至少两个壳体部件（3，4）组成，并且分叉成测量通道分支（38）和至少一个旁路通道分支（36）的流通路（9）在其中延伸，其中，包括传感器系统的基板（11）置于测量通道分支（38）中。根据本发明，流通路（9）包括由至少两个插入板（16）组成的插入板层叠体（15）置于其中的通道扩宽腔室（12），每一个插入板包括在纵向方向上延伸的作为测量通道分支（38）和/或作为旁路通道分支（36）的至少一个板纵向凹陷（17，17’）。插入板（16）被设置作为用于通道扩宽腔室（12）的插入部件。