一种单台面直写式曝光机

专利申请号：CN201611183042.9

公 开 号：CN106527056B

发 明 人：蔡志国 王友车 吴斌 

代 理 人：深圳市千纳专利代理有限公司黄良宝

代理机构：44218 深圳市千纳专利代理有限公司

专利类型：发明专利

申 请 日：20190312

公 开 日：20161220

专利主分类号：G03F7/20(20060101)

关 键 词：驱动模组 标定模块 工作台 曝光镜头 曝光机 滑动 标定 底座 龙门立柱 标定模 单台面 驱动 底架 直写 一次性完成 标定位置 能量标定 

摘      要：本发明提供了一种单台面直写式曝光机，属于曝光机领域，其包括底座，底座上设有龙门立柱，龙门立柱上设有X轴向排列的曝光镜头，还包括工作台，工作台上设有底架、处于底架上的用于标定曝光镜头的标定模块以及用于驱动标定模块X轴方向滑动的标定模组，工作台下方设有用于驱动工作台X轴方向滑动的第一驱动模组，底座上设有用于驱动工作台Y轴方向滑动的第二驱动模组，第一驱动模组设置在第二驱动模组上方。与现有技术相比，该单台面直写式曝光机采用一套标定模块完成标定，标定流程简单，标定位置准确，第一驱动模组和第二驱动模组协同作用并结合标定模组使标定模块的行程能够一次性完成整个曝光镜头的能量标定。