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一种积累型碳化硅功率MOSFET器件

一种积累型碳化硅功率MOSFET器件

专利申请号:CN201910231502.8

公 开 号:CN110164975A

发 明 人:孔谋夫 马洪飞 

代 理 人:甘茂

代理机构:51203 电子科技大学专利中心

专利类型:发明申请

申 请 日:20190823

公 开 日:20190326

专利主分类号:H01L29/78(20060101)

关 键 词:降低器件 积累型 碳化硅功率半导体器件 半导体功率器件 比导通电阻 沟道载流子 碳化硅功率 导通电阻 导通压降 电荷补偿 电子沟道 发明器件 沟道电阻 特征电阻 优化器件 折衷关系 反型层 漂移区 迁移率 电阻 沟道 耐压 正向 应用 

摘      要:本发明涉及半导体功率器件技术领域,尤其涉及碳化硅功率半导体器件,具体为一种积累型碳化硅功率MOSFET器件,具有正向阻断能力,使用积累型电子沟道以及电荷补偿等技术,可以提高沟道载流子(电子)迁移率,降低器件的沟道电阻及漂移区电阻,即可以降低器件的特征电阻,优化器件耐压与比导通电阻间的折衷关系。与传统反型层沟道的器件比较,本发明器件具有更低的导通电阻和导通压降,因此具有广阔的应用前景。

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