一种垂向调整装置

专利申请号：CN201410718598.8

公 开 号：CN104390605B

发 明 人：宗明成 武志鹏 王丹 宋泽宇 李世光 

代 理 人：刘杰

代理机构：11302 北京华沛德权律师事务所

专利类型：授权发明

申 请 日：20170531

公 开 日：20141201

专利主分类号：G01B11/24(20060101)

关 键 词：垂向运动 固紧安装 支撑底板 反射镜 形貌探测装置 调整装置 计量框架 上表面 校准 垂向 高度探测装置 检测技术领域 上下往复运动 位置反馈信号 半导体制造 反射镜设置 测量光束 高度信号 基准平面 机构设置 投影光学 标定 硅片 反射 平行 测量 承载 检测 

摘      要：本发明涉及半导体制造与检测技术领域，尤其涉及一种垂向调整装置。所述垂向调整装置包括：反射镜，用于将高度形貌探测装置投影光学部分的测量光束反射到检测光学部分；垂向运动机构，反射镜设置在垂向运动机构上表面，垂向运动机构承载反射镜在垂直方向进行上下往复运动；支撑底板，垂向运动机构设置在支撑底板上；至少3个固紧安装机构，固紧安装机构一端固定在支撑底板上，另一端与硅片高度形貌探测装置的计量框架固定连接，固紧安装机构使得反射镜的上表面与计量框架的基准平面平行。本发明利用垂向运动机构的位置反馈信号对测量获得的高度信号进行校准和标定，从而实现对高度探测装置的调整和校准。