颗粒捕捉器及其应用

专利申请号：CN201810035051.6

公 开 号：CN108031204B

发 明 人：黎微明 李翔 胡彬 左敏 

代 理 人：朱少华

代理机构：32207 南京知识律师事务所

专利类型：发明专利

申 请 日：20201016

公 开 日：20180115

专利主分类号：B01D46/24(20060101)

关 键 词：导流器 颗粒捕捉器 捕捉器 捕捉器壳体 出气口 滤芯 进气口 氧化铝粉末颗粒 螺旋叶片 气体行程 三甲基铝 真空泵 抽气 内壁 吸附 密封 抽出 捕捉 释放 污染 

摘      要：本发明公开了一种颗粒捕捉器，其由捕捉器壳体(1)、捕捉器盖(2)、导流器外壳(3)、导流器(4)以及滤芯(5)；所述导流器外壳(3)内设有导流器(4)，所述导流器(4)外侧设有若干增加气体行程的螺旋叶片，其导流器外壳，捕捉导流器，滤芯都装在捕捉器壳体里，然后盖上捕捉器盖，组成一个完整的密封的颗粒捕捉器整体，在捕捉器的盖上有气体的进气口和出气口，这样的设计主要是增加被抽出的含TMA(三甲基铝)气体在颗粒捕捉器内的时间，同时，对颗粒捕捉器内释放少量空气，使空气里的水分和被抽进来的TMA充分反应，生成氧化铝粉末颗粒，吸附在颗粒捕捉器的内壁上，减少对出气口的抽气的真空泵的污染。