通过使用基于氮化钼的涂层的磨损和/或摩擦减少

专利申请号：CN201680030533.1

公 开 号：CN107873064B

发 明 人：J·卡纳 V·德夫林格 M·E·鲁伊奇迪 

代 理 人：崔幼平;邓雪萌

代理机构：72001 中国专利代理(香港)有限公司

专利类型：授权发明

申 请 日：20201023

公 开 日：20160525

专利主分类号：C23C30/00(20060101)

关 键 词：衬底表面 衬底表面层 硬化 衬底表面处 氮化处理 交替沉积 单独层 涂层膜 硬化层 多层 涂覆 优选 

摘      要：本发明涉及一种包括涂覆有涂层的衬底表面的部件，所述涂层包括具有不小于40nm的厚度的至少一个MoN层，其特征在于在所述衬底表面与所述至少一个MoN层之间：i)包括衬底表面硬化层，其是硬化的含氮衬底表面层并且具有不小于10nm、优选地不小于20nm并且不大于150nm的厚度，所述硬化的含氮衬底表面层通过在所述衬底表面处进行氮化处理产生，和/或ii)包括由多于2个MoN层和多于2个CrN层组成的层系统，其中形成所述层系统的所述MoN和CrN层是彼此交替沉积以形成多层MoN/CrN涂层膜的单独层。