自组织单量子点的定位方法及装置

专利申请号：CN201310056260.6

公 开 号：CN103163109B

发 明 人：尚向军 倪海桥 査国伟 喻颖 李密峰 王莉娟 徐建星 牛智川 

代 理 人：宋焰琴

代理机构：11021 中科专利商标代理有限责任公司

专利类型：授权发明

申 请 日：20150311

公 开 日：20130219

专利主分类号：G01N21/64(20060101)

关 键 词：量子点 紫外光 荧光光束 样品表面 荧光光谱 光刻胶 扫描 扫描样品表面 紫外光源装置 光谱仪 定位装置 平面阵列 准确定位 激光器 曝光 成品率 光子源 物镜 显微 盲目性 版图 汇聚 停止 

摘      要：本发明公开了一种自组织单量子点的定位装置和方法，其装置包括：激光器，其用于产生激发光，激发量子点样品中的量子点产生荧光光束；紫外光源装置，其用于产生紫外光，对单量子点微区光刻胶曝光；显微物镜，其用于汇聚所述激发光和紫外光到所述量子点样品表面微区，并收集所述微区中量子点的荧光光束，其还用于扫描样品表面；光谱仪，其用于表征所述荧光光束，得到荧光光谱；其方法是：在所述荧光光谱找到单量子点对应的分立谱线后停止扫描，打开所述紫外光对当前扫描的样品表面微区光刻胶曝光，以定位单量子点。本发明避免了平面阵列版图工艺在定位单量子点微区上的盲目性，达到了原位准确定位单量子点的目的，提高了单光子源器件的成品率。