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导电元件
专利申请号：CN202011260635.7
公 开 号：CN112803065A
发 明 人：纪尧姆·罗德里格斯 克里斯多夫·迪巴里 奥马尔·哈利莫里 马加利·泰赛尔
代 理 人：方挺;侯晓艳
代理机构：11400 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙)
专利类型：发明专利
申 请 日：20210514
公 开 日：20201112
专利主分类号：H01M10/0562(20100101)
关 键 词：导电元件 第一层 支撑件 导电性 微电子装置 所选材料 有效地 电阻 叠层 金属
摘 要：本发明涉及一种微电子装置，包括：支撑件(1)和导电元件，所述导电元件包括以叠层方式且依次位于所述支撑件(1)的第一面上方的基于金属的第一层和与所述第一层接触的、基于选自MoSix和WSiy的材料的第二层。所选材料层的这种组合确保了非常令人满意的导电性，因为很容易获得小于3欧姆的电阻。同时，基于MoSi或WSi的层有效地保护下方的层，尤其是防止氧化。
