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内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区大学西街235号 邮编: 010021
物体定位系统、诊断和校准方法、定位控制方法、光刻设备和器件制造方法
专利申请号：CN202080027579.4
公 开 号：CN113661448A
发 明 人：B·詹森 S·A·A·阿布德尔莫伊蒂 H·巴特勒 K·J·F·卢南 A·辛格 R·E·J·R·范德维尔登
代 理 人：赵林琳;闫昊
代理机构：11256 北京市金杜律师事务所
专利类型：发明申请
申 请 日：20211116
公 开 日：20200310
专利主分类号：G03F7/20(20060101)
关 键 词：电场 致动器 致动器系统 场强 测量系统 偏置电场 电特性 致动 电致伸缩特性 物体定位系统 机械状态 极化 配置 偏置 叠加 测量 施加
摘 要：本发明涉及一种物体定位系统，包括：致动器系统；和测量系统，其中致动器系统包括由主要具有电致伸缩特性并且在没有电场的情况下基本没有净极化的材料制成的致动器，其中致动器系统被配置为向致动器施加电场，该电场包括偏置电场和叠加在偏置电场上的致动电场，所述致动电场的场强等于或小于偏置电场的场强，其中测量系统被配置为测量致动器的电特性，该电特性代表致动器的机械状态。
