芯片表面划痕缺陷的检测方法、装置和计算机设备

专利申请号：CN202110953595.2

公 开 号：CN113781402A

发 明 人：赵玥 罗军 王小强 罗道军 唐锐 

代 理 人：广州华进联合专利商标代理有限公司郭凤杰

代理机构：44224 广州华进联合专利商标代理有限公司

专利类型：发明专利

申 请 日：20211210

公 开 日：20210819

专利主分类号：G06T7/00(20170101)

关 键 词：芯片表面 像素 预处理图像 前景图像 原始图像 划痕 检测 预处理 图像 计算机设备 显著性分析 准确度 存储介质 划痕缺陷 划痕图像 检测芯片 目标背景 图像分离 阈值分割 鲁棒性 聚类 申请 

摘      要：本申请涉及一种芯片表面划痕缺陷的检测方法、装置、计算机设备和存储介质。方法包括：获取待检测芯片的原始图像，对原始图像进行预处理，得到预处理图像；根据预处理图像中各像素之间的相似性，对各像素进行聚类，得到多个超像素；根据多个超像素，对预处理图像进行显著性分析，得到显著图像；对显著图像进行阈值分割，以将包含芯片表面划痕的目标前景图像与目标背景图像分离；其中，目标前景图像为检测得到的芯片表面划痕图像。采用本方法对芯片表面划痕的检测准确度高，鲁棒性强。