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气体幕帘元件、传送气体的导管系统与传送气体的方法
专利申请号：CN202110172337.0
公 开 号：CN113913784A
代 理 人：北京律诚同业知识产权代理有限公司徐金国
代理机构：11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司
专利类型：发明专利
申 请 日：20220111
公 开 日：20210208
专利主分类号：C23C16/44(20060101)
关 键 词：导管衬套 传送气体 通风口 导管接头 导管系统 螺旋形 幕帘 气体容纳腔 半导体元件 减少材料 流体连通 内部表面 衬套 导管 基材 沉积
摘 要：一种气体幕帘元件、传送气体的导管系统与传送气体的方法，气体幕帘元件包含一导管衬套和一导管接头。导管衬套包含通过导管衬套的一螺旋形通风口。导管接头围绕导管衬套的一部分，导管接头包含与导管衬套的螺旋形通风口呈流体连通的多个气体进入端口。用于从气体容纳腔室，其用于处理形成半导体元件的基材，传送气体的导管系统，包含具有螺旋形通风口的衬套。导管系统利用气体的幕帘以防止或减少材料至(从气体容纳腔室传送气体的)导管的内部表面上的沉积。
