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一种集成电路成膜光学检测结果标记装置
专利申请号：CN202122216626.4
公 开 号：CN215727786U
代 理 人：杨陈庆
代理机构：32310 南京品智知识产权代理事务所(普通合伙)
专利类型：实用新型
申 请 日：20220201
公 开 日：20210914
专利主分类号：G01N21/956(20060101)
关 键 词：工业相机 固定底板 光学相机 滑轨气缸 标记笔 固定板 光源支撑 节流阀 镜头 光源 集成电路 光学检测技术 本实用新型 光学检测 活塞推杆 结果标记 成膜 外周 支撑
摘 要：本实用新型涉及的是集成电路光学检测技术领域，尤其涉及一种集成电路成膜光学检测结果标记装置。包括固定底板、节流阀、滑轨气缸、标记笔支撑、标记笔、光源支撑、工业光学相机、工业相机固定板、镜头和光源；所述的光源支撑安装在固定底板一侧，工业相机固定板与固定底板固定连接，工业光学相机安装在工业相机固定板上，工业光学相机下部装有镜头，工业相机的镜头下部外周设置有光源；固定底板另一侧装有节流阀、滑轨气缸，所述的滑轨气缸活塞推杆下部装有标记笔。
