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真空卷绕镀膜装置

真空卷绕镀膜装置

专利申请号:CN202023350462.6

公 开 号:CN215593180U

发 明 人:余荣沾 王忠雨 于小杰 张欣 袁世成 

代 理 人:北京华专卓海知识产权代理事务所(普通合伙)王一;张继鑫

代理机构:11664 北京华专卓海知识产权代理事务所(普通合伙)

专利类型:实用新型

申 请 日:20220121

公 开 日:20201231

专利主分类号:C23C14/56(20060101)

关 键 词:镀膜室 放卷室 基材 隔离室 收卷室 真空卷绕镀膜 本实用新型 镀膜处理 下游侧端部 设备维护 扁形 阀门 卷绕 破空 收卷 上游 

摘      要:本实用新型提供一种真空卷绕镀膜装置,该真空卷绕镀膜装置的特征在于,具有:放卷室,其用于设置并供给基材;镀膜室,其对由所述放卷室供给的基材在真空中进行镀膜处理;收卷室,其对由所述镀膜室进行镀膜处理后的基材进行卷绕而收卷;第一隔离室,其设置在所述放卷室和所述镀膜室之间;和第二隔离室,其设置在所述收卷室和所述镀膜室之间,所述第一、第二隔离室形成为扁形的箱体,并在箱体的上游侧和下游侧端部设置有阀门。根据本实用新型,能够单独对放卷室和/或收卷室进行破空处理,完成设备维护,基材更换等。

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