一种MEMS陀螺性能预评估片上测试系统

专利申请号：CN202111620711.5

公 开 号：CN114252093A

发 明 人：赵阳 赵倩楠 施芹 夏国明 裘安萍 

代 理 人：南京理工大学专利中心汪清

代理机构：32203 南京理工大学专利中心

专利类型：发明专利

申 请 日：20220329

公 开 日：20211227

专利主分类号：G01C25/00(20060101)

关 键 词：陀螺 上位机数据 采集系统 品质因数 圆片级 闭环 增益控制电平 检测 回路闭环 检测信号 驱动回路 耦合误差 采集检测信号 上位机程序 数据采集卡 驱动 闭环测试 测试步骤 测试系统 测试效率 电学测量 分离结构 控制电平 控制数据 片上测试 输出模式 误差来源 相敏解调 圆片测试 采集卡 卡电路 评估 采集 测试 

摘      要：本发明公开了一种MEMS陀螺性能预评估片上测试系统，该测试系统包括圆片测试探卡电路、数据采集卡和上位机数据采集系统。上位机数据采集系统控制数据采集卡输出模式控制电平，以切换圆片级MEMS陀螺的驱动回路闭环或检测回路闭环。驱动回路闭环时，采集驱动检测信号、检测信号、增益控制电平，在上位机数据采集系统中进行相敏解调、耦合误差、驱动品质因数的计算；检测回路闭环时，采集检测信号、增益控制电平，在上位机程序中完成检测品质因数的计算。本发明采用电学测量的方式对圆片级MEMS陀螺进行耦合误差测试，有利于分离结构误差来源，为圆片级MEMS陀螺性能预评估提供依据；并且提供一种陀螺检测品质因数的闭环测试方案，简化测试步骤，提高测试效率。