一种实时自校准痕量气体浓度的检测装置

专利申请号：CN202111570147.0

公 开 号：CN114235701A

发 明 人：唐吉龙 魏志鹏 贾慧民 余锦 貊泽强 林逢源 李科学 王海珠 

代 理 人：北京盛凡佳华专利代理事务所(普通合伙)马红蕾

代理机构：11947 北京盛凡佳华专利代理事务所(普通合伙)

专利类型：发明专利

申 请 日：20220325

公 开 日：20211221

专利主分类号：G01N21/01(20060101)

关 键 词：气体检测 衰荡腔 自校准 痕量气体 检测结果 检测 激光器控制电路 模式匹配透镜组 分析处理电路 浓度检测装置 气体检测技术 光谱气体 环境变化 激光波长 监测模块 检测参数 检测技术 检测装置 聚焦透镜 空腔衰荡 实时更新 实时校准 数据收集 分束镜 密闭式 腔衰荡 取样板 准直器 探测器 分束 空腔 光源 

摘      要：本发明涉及气体检测技术领域，公开了一种可对检测结果进行实时自校准痕量气体浓度的检测装置。本发明提供的痕量气体浓度检测装置由DFB激光器、分束取样板、激光波长监测模块、激光器控制电路模块、中性分束镜、准直器、模式匹配透镜组、实时自校准衰荡腔、聚焦透镜、探测器、数据收集与分析处理电路模块构成。利用密闭式衰荡腔检测参数对开放式衰荡腔气体检测参数进行实时校准，解决现有腔衰荡光谱气体检测技术检测过程繁琐、更换光源对另一种气体检测时需要重新测定空腔参数、空腔衰荡参数不能根据检测环境变化实时更新的问题，具有检测步骤简单、检测结果误差较小、气体检测时可以实时自校准的特点。