应用谐波检测率以作为用于基于成像的叠加测量的质量指标的系统及方法

专利申请号：CN202080064623.9

公 开 号：CN114402205A

发 明 人：G·德卡胡克 T·里维安特 D·格瑞奥迪 

代 理 人：北京律盟知识产权代理有限责任公司刘丽楠

代理机构：北京律盟知识产权代理有限责任公司

专利类型：发明专利

申 请 日：20220426

公 开 日：20200916

专利主分类号：G01R23/16

关 键 词：计量子系统 控制器 谐波检测 光学测量 光学计量 配方 计量 测量 计量系统 图像信号 组图像 耦合到 配置 叠加 样本 图像 安置 

摘      要：本发明公开一种基于图像的叠加计量系统。所述系统包含可耦合到计量子系统的控制器。所述控制器经配置以从所述计量子系统接收安置于样本上的第一计量目标的一组图像信号，且通过计算所述多个图像信号中的每一者的谐波检测率度量值而确定多个谐波检测率度量值。所述控制器还经配置以基于所述多个谐波检测率度量值识别所述计量子系统的一组光学测量条件，其中所述组光学测量条件定义所述计量子系统的光学计量测量的配方。接着，所述控制器将所述配方提供到所述计量子系统用于执行一或多个额外计量目标的一或多个光学计量测量。