垂直离子束角度实时测量系统和方法

专利申请号：CN202210729841.0

公 开 号：CN115132574A

发 明 人：苏文华 曹炜 吴炎森 

代 理 人：丁俊萍

代理机构：上海光华专利事务所(普通合伙)

专利类型：发明专利

申 请 日：20220930

公 开 日：20220624

专利主分类号：H01L21/265

关 键 词：电流传感装置 离子 离子束 基准位置传感器 基准位置 转动 离子注入工序 离子电流 驱动装置 取样周期 取样 半导体制造工艺 垂直 基准位置信号 实时测量系统 离子注入机 连续顺时针 逆时针转动 旋转轴线 触发 申请 

摘      要：本申请公开一种垂直离子束角度实时测量系统和方法,用于半导体制造工艺的离子注入工序，其包括：离子电流传感装置、驱动装置和基准位置传感器。离子电流传感装置接收来自离子注入机的离子束，且产生离子电流值信号。驱动装置与离子电流传感装置连接，使离子电流传感装置在预定的取样角度范围内绕旋转轴线转动。基准位置传感器设定离子电流传感装置的基准位置，当离子电流传感装置转动至基准位置时，触发基准位置传感器产生基准位置信号。其中在离子注入工序进行的过程中，离子电流传感装置以基准位置为中心在取样角度范围内连续顺时针转动和逆时针转动以形成取样周期，在取样周期中，以离子电流值信号的最大值实时决定离子束的垂直离子束角度。