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封装型流量传感器

封装型流量传感器

专利申请号:CN202080098272.3

公 开 号:CN115280112A

发 明 人:笠井隆 佐土原宏明 山本克行 梶川健太 

代 理 人:北京银龙知识产权代理有限公司曾贤伟;李平

代理机构:北京银龙知识产权代理有限公司

专利类型:发明申请

申 请 日:20221101

公 开 日:20201215

专利主分类号:G01F1/684

关 键 词:基板部 连通孔 流量传感器芯片 收纳室 流量传感器 内外连通 封装体 封装型 流体 收纳 传感器部 连接端子 外部基板 平板状 检测 配置 流动 

摘      要:本封装型流量传感器具备:流量传感器芯片,其具有检测流体的流动的传感器部;封装体,其包括平板状的基板部,形成收纳所述流量传感器芯片的收纳室;以及连接端子,其设置于所述基板部的外表面且与外部基板连接。并且,在本封装型流量传感器中,在所述基板部上设置有使所述收纳室的内外连通的第一连通孔,在所述封装体中,在与所述基板部不同的位置设置有使所述收纳室的内外连通的第二连通孔,所述流量传感器芯片配置在所述第一连通孔和所述第二连通孔形成的所述流体的流路上。

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