新风机房在屋脊排气在一端的厂房新风工艺排气布置系统

专利申请号：CN202222071654.6

公 开 号：CN217763792U

发 明 人：白焰 龚伟力 姚哲卿 杨丽 韩敏娟 

代理机构：成都中亚专利代理有限公司

专利类型：实用新型

申 请 日：20221108

公 开 日：20220808

专利主分类号：F24F7/08

关 键 词：机房 洁净区 工艺排气 桁架 支持区 厂房 技术夹层 芯片制造 长边 屋脊 占用 垂直方向布置 本实用新型 新风 布置方式 布置系统 洁净气流 洁净新风 排气区域 排气设备 平行布置 双子星 桁架层 穿管 短边 减小 排气 洁净 主管 

摘      要：本实用新型公开了一种新风机房在屋脊排气在一端的厂房新风工艺排气布置系统，该布置方式适用于芯片制造厂房，包括单个或双子星芯片制造厂房的设计，整体将核心的洁净新风机房设置在洁净区屋脊上；工艺排气设备沿短边设置在支持区屋面上，排气区域与MAU机房呈垂直方向布置；工艺排气主管布置在洁净区上技术夹层桁架内，改变了以往将MAU机房设置在厂房长边支持区四层或洁净区桁架层内，排气设备区域在长边屋面上与MAU机房相互平行布置的设计。该方案MAU机房不占用支持区面积，不占用洁净区上技术夹层空间，减小了对桁架内洁净气流的干扰，使洁净室温度、湿度、压力更加均匀和稳定，增加了桁架内的穿管空间。