等离子体参数瞬态太赫兹波透射测试装置、方法及系统

专利申请号：CN202211143481.2

公 开 号：CN115406858A

发 明 人：郝泽宇 韩顺利 张文征 赵润泽 于怡然 

代 理 人：杨琪

代理机构：济南圣达知识产权代理有限公司

专利类型：发明专利

申 请 日：20221129

公 开 日：20220920

专利主分类号：G01N21/3581

关 键 词：扩频 等离子体 喇叭天线 微波暗室 矢量网络分析模块 透镜 被测装置 太赫兹波 工控机 透射 测试技术领域 等离子体参数 等离子体电子 测试装置 关键参数 碰撞频率 透射信号 应用场景 准确度 发射 反演 瞬态 侵入 穿过 

摘      要：本发明公开了等离子体参数瞬态太赫兹波透射测试装置、方法及系统，涉及等离子体透射测试技术领域。包括一号微波暗室、被测装置、二号微波暗室、矢量网络分析模块和工控机，被测装置内设置有等离子体；一号微波暗室内设置有一号扩频模块、发射喇叭天线和一号透镜，二号微波暗室内设置有二号扩频模块、二号透镜和接收喇叭天线，发射喇叭天线与一号扩频模块相连接，接收喇叭天线和二号扩频模块相连接，矢量网络分析模块与一号扩频模块、二号扩频模块和工控机相连接。本发明通过获得穿过等离子体的太赫兹波透射信号，反演等离子体电子密度、碰撞频率关键参数，提高了模型的准确度，无需侵入等离子体，适用于不同工艺和多种应用场景。