一种差动光谱共焦传感器

专利申请号：CN202110368052.4

公 开 号：CN113108697B

发 明 人：董宁 曹桂平 王雪 

代 理 人：苗娟

代理机构：合肥天明专利事务所(普通合伙)

专利类型：发明专利

申 请 日：20221125

公 开 日：20210406

专利主分类号：G01B11/02

关 键 词：光纤环形器 出光口 半透半反棱镜 传感器 波长 光谱 色散 测量 表面位置信息 被测物表面 共焦传感器 光谱反射率 光谱仪接收 峰值计算 光谱曲线 宽谱光源 镜头 被测物 共聚焦 偏振片 输出光 差动 出射 光强 合束 两路 偏振 相减 轴向 反射 光源 相等 照射 错位 垂直 输出 出口 

摘      要：本发明的一种差动光谱共焦传感器，包括宽谱光源经过Y型光纤分成光强相等的两束光，分别进入一个光纤环形器；出光口C1和出光口C2出射的光源分别经过一个偏振片后，二者偏振方向相互垂直，再经过半透半反棱镜后合束照射到同一个色散镜头上；从被测物表面反射的光再经过半透半反棱镜后分别进入两个光纤环形器的出光口，再分别从光纤环形器的出口输出，输出光分别由光谱仪接收。本发明利用两路轴向相互错位的光谱共聚焦传感器同时测量，两个传感器共用一个色散镜头，将两个光谱曲线相减求零点对应的波长，以此计算被测表面位置信息，使用差动方法求零点对应的波长，能够消除被测物本身颜色导致光谱反射率对峰值计算的影响，提高测量精度。