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检测样品的方法以及多电子束检测系统
专利申请号：CN202080099760.6
公 开 号：CN115427798A
代 理 人：北京律诚同业知识产权代理有限公司徐金国;赵静
代理机构：北京律诚同业知识产权代理有限公司
专利类型：发明专利
申 请 日：20221202
公 开 日：20200417
专利主分类号：G01N23/2251
关 键 词：电子束 可移动平台 电子束检测系统 检测样品 扫描样品表面 二维阵列 平面延伸 扫描模式 探测位置 信号电子 样品放置 移动期间 检测 静止 聚焦 发射 移动 传播
摘 要：描述了一种用于使用多电子束检测系统(100)检测样品的方法。该方法包含：将样品放置于在X‑Y平面延伸的可移动平台(110)上；产生向样品传播的多个电子束(105)；在二维阵列中的多个探测位置(106)处将电子束聚焦在该样品上；通过以预定扫描模式移动该可移动平台来扫描样品表面，同时保持多个电子束静止；以及检测在该可移动平台的移动期间从该样品发射的信号电子，以用于检测该样品。进一步地，描述了用于根据以上方法检测样品的多电子束检测系统(100)。
