全差分加速度计

专利申请号：CN202210591363.1

公 开 号：CN115453145A

发 明 人：张江龙 张欣 

代 理 人：中国贸促会专利商标事务所有限公司刘倜

代理机构：中国贸促会专利商标事务所有限公司

专利类型：发明专利

申 请 日：20221209

公 开 日：20220527

专利主分类号：G01P15/125

关 键 词：质量块 感测 屏蔽件 检测 基板 加速度计传感器 差分驱动信号 微机电系统 电容信号 感测信号 加速度计 驱动信号 耦合 电隔离 分体式 分运动 节点处 可移动 耦合到 屏蔽 多轴 恒压 偏置 施加 支撑 应用 

摘      要：本公开涉及全差分加速度计。本文公开具有全差分感测设计的多质量块、多轴微机电系统(MEMS)加速度计传感器设备的方面，该设计将差分驱动信号应用于可移动的检测质量块并在耦合到基板的感测指处感测差分运动信号。在一些实施方案中，来自不同感测指的电容信号在设置在支撑检测质量块的基板上的感测信号节点处组合在一起。在一些实施方案中，可以提供分体式屏蔽件，其中在检测质量块下方的第一屏蔽件耦合施加到检测质量块的相同驱动信号，并且第二屏蔽件和在感测指下方提供的第一屏蔽件电隔离，并使用恒压偏置以提供和感测指的屏蔽。